制造能力
Renishaw激光干涉儀
激光干涉儀的基本配置可以完成數控機床三軸的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量和補償。
增加相應的測量鏡組，可以完成數控機床三軸的水平和垂直方向的偏擺和俯仰角度測量，還可以完成平面度、直線度、垂直度的測量。增加回轉軸組件RX10，可以實現旋轉軸(A,B.,C軸)的分度精度測量和補償。
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線性測量精度 ±0.5ppm 線性分辨率 1nm 最高移動速度 4m/s 更新環境補償的時間 7s 動態采集頻率 50KHZ 線性測量距離為標準設定 80m 預熱時間 <6分鐘 環境溫度 0-40℃ |
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